Sputtering Targets (Kaplama Hedefleri), ince film kaplama süreçlerinde kullanılan özel malzemelerdir. “Sputtering” (püskürtme) işlemi, bir hedef malzemenin (target) iyon bombardımanına uğratılarak atomlarının yüzeyden koparıldığı ve bir alt tabaka üzerine biriktirildiği bir kaplama yöntemidir. Bu yöntem, yarı iletkenlerden optik bileşenlere kadar geniş bir yelpazede kullanılır.Gelişmiş teknolojilerde önemli bir yer tutan sputtering targets, elektronik, optik, enerji ve biyomedikal alanlarında kritik işlevler üstlenir. Kullanım alanları ve üretim süreçleri incelendiğinde, endüstriyel gelişimin itici güçlerinden biri olduğu görülmektedir.

  1. Sputtering Targets Çeşitleri

Sputtering targets, kullanılan malzemeye ve kaplama sürecine göre sınıflandırılır:

  1. a) Malzeme Türüne Göre
  1. Metalik Targetler: Altın (Au), Gümüş (Ag), Platin (Pt), Alüminyum (Al), Bakır (Cu), Titanyum (Ti), Tungsten (W), Kobalt (Co), Krom (Cr) gibi metallerden üretilir.
  2. Seramik ve Oksit Targetler: Silisyum dioksit (SiO₂), Alüminyum oksit (Al₂O₃), İndiyum kalay oksit (ITO), Çinko oksit (ZnO), Manyetit (Fe₃O₄) gibi seramik veya oksit bileşiklerinden oluşur.
  3. Alaşımlı Targetler: Al-Cu, Mo-Ta, NiCr, CoPt gibi çeşitli alaşımlar, uygulamaya bağlı olarak seçilir.
  4. Karbon Esaslı Targetler: Grafit (C) ve DLC (diamond-like carbon) kaplama için kullanılır.
  1. b) Şekline Göre
  • Disk Targetler: Genellikle yarı iletken ve ince film kaplama endüstrisinde kullanılır.
  • Dikdörtgen Targetler: Büyük yüzeylerin kaplanması için uygundur.
  • Silindirik (Rotary) Targetler: Daha uzun ömürlüdür ve geniş kaplama yüzeyleri sağlar.
  1. Sputtering Targets Kullanım Alanları

Sputtering targetler, farklı sektörlerde yaygın olarak kullanılır. İşte başlıca kullanım alanları:

  1. a) Yarı İletken ve Elektronik Endüstrisi
  • Mikroçip üretimi, entegre devreler (IC) ve transistörlerde ince film kaplamaları için kullanılır.
  • Manyetik kayıt ortamları (HDD diskleri) için manyetik ince film üretiminde tercih edilir.
  • LCD ve OLED ekranlarda iletken kaplamalar (örneğin ITO) için kullanılır.
  1. b) Optik ve Cam Endüstrisi
  • Anti-reflektif kaplamalar (gözlük camları, teleskop mercekleri, güneş gözlükleri).
  • Dekoratif ve fonksiyonel ayna kaplamaları.
  • Işığı geçiren veya yansıtıcı kaplamalar için kullanılır.
  1. c) Yenilenebilir Enerji ve Güneş Panelleri
  • Güneş panellerinde (fotovoltaik hücreler) kullanılan ince film kaplamalar için önemli bir bileşendir.
  • Şeffaf iletken oksit (TCO) kaplamaları güneş hücrelerinin verimini artırmak için uygulanır.
  1. d) Tıbbi ve Biyomedikal Uygulamalar
  • Protezlerde biyouyumlu kaplamalar (örneğin Ti, Zr, ve Ta kaplamalar).
  • Biyosensörlerde ince film elektrotları.
  • Steril ve aşınmaya dayanıklı cerrahi alet kaplamaları.
  1. e) Otomotiv ve Havacılık Endüstrisi
  • Motor bileşenleri için düşük sürtünmeli kaplamalar (DLC).
  • Uçak gövdeleri ve camları için ısı yalıtımı sağlayan kaplamalar.
  • Radar yansıtıcı ve emici yüzey kaplamaları.

 

Bir cevap yazın